【特長】<br>●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。● 接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。●サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。<br><br>【用途】<br>●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。<br><br>【仕様】<br>●排気速度(L/min)50/60Hz：6/7●到達圧力(Pa)：6.65×10［［の３乗］］●吸気口径(mm)：Rc1/8●電源(V)：単相100●全幅(mm)：91●全長(mm)：163●全高(mm)：100.6●電源コード長さ(m)：2<br><br>【仕様２】<br>●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D／DAL-361Sは除く)●低速低圧用<br><br>【注意】<br>●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。